沉积速率对ZnO薄膜生长过程和微结构影响的分子反应力场方法研究

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资源类别： 材料
关键词： 薄膜   速率   分子   沉积   生长
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沉积速率对ZnO薄膜生长过程和微结构影响的分子反应力场方法研究
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