溅射氩气压对射频磁控溅射制备 ZnO∶Al 薄膜性能的影响

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资源类别： 材料
关键词： 射频   制备   薄膜   气压   性能
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溅射氩气压对射频磁控溅射制备 ZnO∶Al 薄膜性能的影响
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