溶胶-凝胶法制备AZO薄膜及Al掺杂机理的研究

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资源类别： 材料
关键词： 掺杂   薄膜   法制   溶胶   凝胶
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溶胶-凝胶法制备AZO薄膜及Al掺杂机理的研究
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