溶胶-凝胶法制备氧化铝绝缘薄膜及其电性能研究

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资源类别： 材料
关键词： 绝缘   薄膜   性能   及其   法制
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溶胶-凝胶法制备氧化铝绝缘薄膜及其电性能研究
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