热处理气氛对溶胶-凝胶法制备a-InGaZnO TFT器件的影响

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资源类别: 材料
关键词: 热处理   器件   气氛   法制   溶胶
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热处理气氛对溶胶-凝胶法制备a-InGaZnO TFT器件的影响
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