用PECVD制备高抗腐蚀性能SiN_x薄膜的工艺研究

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资源类别： 材料
关键词： 制备   薄膜   腐蚀   性能   工艺
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用PECVD制备高抗腐蚀性能SiN_x薄膜的工艺研究
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