磁控溅射法在玻璃基片制备VO_2薄膜的结构与性能

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资源类别： 材料
关键词： 制备   薄膜   性能   玻璃   磁控溅射
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磁控溅射法在玻璃基片制备VO_2薄膜的结构与性能
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