薄膜热电偶瞬态温度传感器Al2O3绝缘膜制备工艺及性能表征

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资源类别： 材料
关键词： 表征   绝缘   制备   薄膜   性能
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薄膜热电偶瞬态温度传感器Al2O3绝缘膜制备工艺及性能表征
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