衬底温度对N-Al共掺杂ZnO薄膜形貌及光致发光性能的影响

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资源类别： 材料
关键词： 掺杂   薄膜   性能   温度   衬底
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衬底温度对N-Al共掺杂ZnO薄膜形貌及光致发光性能的影响
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