超薄α-Ta（N）／TaN双层扩散阻挡层的微观结构与热稳定性

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资源类别： 材料
关键词： 超薄   双层   阻挡   微观   扩散
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超薄α-Ta（N）／TaN双层扩散阻挡层的微观结构与热稳定性
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