靶基距对射频磁控溅射法制备氟碳膜的结构与性能影响

文件格式： PDF文档
文件大小： 211.71 KB
资源类别： 材料
关键词： 射频   性能   法制   磁控溅射   结构
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

靶基距对射频磁控溅射法制备氟碳膜的结构与性能影响
相关推荐