高压对高功率脉冲磁控放电等离子体注入与沉积氧化钒薄膜的影响

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语言版本： 简体中文
资源类别： 材料
关键词： 放电   脉冲   薄膜   沉积   功率
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论文简介

高压对高功率脉冲磁控放电等离子体注入与沉积氧化钒薄膜的影响
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