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高压对高功率脉冲磁控放电等离子体注入与沉积氧化钒薄膜的影响

高压对高功率脉冲磁控放电等离子体注入与沉积氧化钒薄膜的影响

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高压对高功率脉冲磁控放电等离子体注入与沉积氧化钒薄膜的影响

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