KH-550硅烷偶联剂对半导体制造用碳化硅粉体表面的改性研究

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资源类别： 材料
关键词： 对半   体表   导体   制造   碳化硅
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KH-550硅烷偶联剂对半导体制造用碳化硅粉体表面的改性研究
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