Mg2Si半导体薄膜的磁控溅射制备

文件格式： PDF文档
文件大小： 315.84 KB
资源类别： 材料
关键词： 制备   薄膜   半导体   磁控溅射   Mg2Si
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

Mg2Si半导体薄膜的磁控溅射制备
相关推荐