偏压对CrN／Si3N4纳米多层膜结构、硬度和断裂韧性的影响

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资源类别： 材料
关键词： 硬度   多层   纳米   偏压   膜结构
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偏压对CrN／Si3N4纳米多层膜结构、硬度和断裂韧性的影响
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