原子层外延生长Ⅲ-Ⅴ族化合物薄膜机理的研究进展。

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资源类别： 材料
关键词： 薄膜   化合物   原子   生长   外延
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原子层外延生长Ⅲ-Ⅴ族化合物薄膜机理的研究进展。
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