反应溅射 TiN 纳米晶薄膜的结构特征和耐蚀性

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资源类别： 材料
关键词： 薄膜   纳米   特征   反应   结构
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反应溅射 TiN 纳米晶薄膜的结构特征和耐蚀性
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