基于CF4／Ar高密度感应耦合等离子体的BZN薄膜的刻蚀工艺研究

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资源类别：材料

关键词：高密度耦合薄膜感应基于

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基于CF4／Ar高密度感应耦合等离子体的BZN薄膜的刻蚀工艺研究

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