热阴极直流辉光等离子体化学气相沉积法制备纳米晶金刚石膜的研究

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资源类别： 材料
关键词： 辉光   金刚石   直流   沉积   纳米
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热阴极直流辉光等离子体化学气相沉积法制备纳米晶金刚石膜的研究
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