电压对中频脉冲非平衡磁控溅射类金刚石薄膜结构与性能的影响

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资源类别： 材料
关键词： 中频   金刚石   脉冲   薄膜   电压
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电压对中频脉冲非平衡磁控溅射类金刚石薄膜结构与性能的影响
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