电弧增强磁控溅射制备的纳米复合Si-C-N超硬薄膜的结构与性能

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资源类别：材料

关键词：电弧制备薄膜复合纳米

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电弧增强磁控溅射制备的纳米复合Si-C-N超硬薄膜的结构与性能

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