电弧离子镀AlCrN沉积层初期氧化形貌、组构及反应机制

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资源类别： 材料
关键词： 电弧   沉积   氧化   初期   反应
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电弧离子镀AlCrN沉积层初期氧化形貌、组构及反应机制
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