真空阴极电弧制备TiAIN涂层的硬度及摩擦学性能研究

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资源类别： 材料
关键词： 电弧   阴极   涂层   硬度   制备
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真空阴极电弧制备TiAIN涂层的硬度及摩擦学性能研究
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