磁控溅射TiAlVN薄膜中V含量对其结构和抗腐蚀性能的影响

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资源类别：材料

关键词：薄膜腐蚀性能含量磁控溅射

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磁控溅射TiAlVN薄膜中V含量对其结构和抗腐蚀性能的影响

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