离子束溅射组装均质Cu-W膜不同铜钨靶功率、气压对膜结构的影响

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资源类别： 材料
关键词： 气压   组装   功率   离子束   不同
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离子束溅射组装均质Cu-W膜不同铜钨靶功率、气压对膜结构的影响
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