空位缺陷对单晶硅薄膜热导率影响的分子动力学模拟研究

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资源类别： 材料
关键词： 空位   薄膜   分子   模拟   缺陷
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空位缺陷对单晶硅薄膜热导率影响的分子动力学模拟研究
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