脉冲激光沉积AIN薄膜的结构表征和性能研究进展

文件格式： PDF文档
文件大小： 449.2 KB
资源类别： 材料
关键词： 表征   脉冲   薄膜   沉积   激光
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

脉冲激光沉积AIN薄膜的结构表征和性能研究进展
相关推荐