采用Al缓冲层在蓝宝石衬底上合成GaN多晶薄膜

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资源类别： 材料
关键词： 蓝宝石   缓冲   薄膜   合成   采用
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采用Al缓冲层在蓝宝石衬底上合成GaN多晶薄膜
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