铀表面等离子体浸没离子注入沉积制备氮化层＋Ti／TiN多层膜的结构与性能

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资源类别： 材料
关键词： 浸没   制备   沉积   多层   离子
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铀表面等离子体浸没离子注入沉积制备氮化层＋Ti／TiN多层膜的结构与性能
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