锗掺杂真空蒸镀基板距离对多晶硅薄膜的影响

文件格式: PDF文档
文件大小: 519.99 KB
资源类别: 材料
关键词: 掺杂   薄膜   真空   距离   多晶
进入标准下载页面
本资源下载需 1

论文简介

锗掺杂真空蒸镀基板距离对多晶硅薄膜的影响
相关推荐