阳极线性离子源辅助磁控溅射沉积氮化钛薄膜的研究

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资源类别： 材料
关键词： 阳极   线性   薄膜   沉积   辅助
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阳极线性离子源辅助磁控溅射沉积氮化钛薄膜的研究
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