高温化学气相沉积TiC／Ti（CxN1-x）／TiN层的组织结构及摩擦磨损性能

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资源类别： 材料
关键词： 磨损   沉积   摩擦   高温   性能
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高温化学气相沉积TiC／Ti（CxN1-x）／TiN层的组织结构及摩擦磨损性能
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