磁控溅射NbSiN复合膜的微结构和性能

文件格式： PDF文档
文件大小： 944.64 KB
资源类别： 材料
关键词： 复合   性能   微结构   磁控溅射   NbSiN
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

磁控溅射NbSiN复合膜的微结构和性能
相关推荐