磁控溅射法中添加氢气对制备立方氮化硼厚膜的影响

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资源类别： 材料
关键词： 制备   氢气   添加   立方   磁控溅射
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磁控溅射法中添加氢气对制备立方氮化硼厚膜的影响
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