膜层厚比对CrNx∕TiyCr1-yN多层膜硬度与结合力影响研究

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资源类别： 航空航天
关键词： 硬度   多层   结合   影响   研究
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膜层厚比对CrNx∕TiyCr1-yN多层膜硬度与结合力影响研究
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