射频磁控溅射沉积铝掺杂氧化锌薄膜的研究

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资源类别： 能源
关键词： 射频   掺杂   薄膜   沉积   磁控溅射
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射频磁控溅射沉积铝掺杂氧化锌薄膜的研究
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