氧气分压和衬底温度对铝掺杂氧化锌透明导电薄膜性能的影响

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资源类别：能源

关键词：导电掺杂薄膜氧气透明

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氧气分压和衬底温度对铝掺杂氧化锌透明导电薄膜性能的影响

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