活性环境空心阴极溅射特性与沉积Al2O3、ZnO掺杂和In2O3：Mo薄膜的应用(中)

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资源类别：能源

关键词：阴极掺杂空心薄膜沉积

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活性环境空心阴极溅射特性与沉积Al2O3、ZnO掺杂和In2O3：Mo薄膜的应用(中)

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