空心阴极气流溅射法沉积Al掺杂ZnO膜的电学与光学性质(上)

文件格式： PDF文档
文件大小： 1017.45 KB
资源类别： 能源
关键词： 阴极   掺杂   空心   沉积   气流
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

空心阴极气流溅射法沉积Al掺杂ZnO膜的电学与光学性质(上)
相关推荐