脉冲磁控溅射制备氧化铝涂层的结构和性能控制(上)

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资源类别： 能源
关键词： 涂层   脉冲   制备   性能   磁控溅射
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脉冲磁控溅射制备氧化铝涂层的结构和性能控制(上)
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