脉冲磁控溅射制备氧化铝涂层的结构和性能控制(下)

文件格式: PDF文档
文件大小: 2.51 MB
资源类别: 能源
关键词: 涂层   脉冲   制备   性能   磁控溅射
进入标准下载页面
本资源下载需 1

论文简介

脉冲磁控溅射制备氧化铝涂层的结构和性能控制(下)
相关推荐