退火气氛对Al-F共掺杂ZnO薄膜结构和光电性能的影响

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资源类别： 能源
关键词： 掺杂   薄膜   性能   气氛   退火
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退火气氛对Al-F共掺杂ZnO薄膜结构和光电性能的影响
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