溅射气氛对RF反应磁控溅射制备ZnO薄膜微结构及光致发光特性的影响

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资源类别： 综合论文
关键词： 制备   薄膜   特性   气氛   反应
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溅射气氛对RF反应磁控溅射制备ZnO薄膜微结构及光致发光特性的影响
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