GaN缓冲层对直流反应磁控溅射AlN薄膜的影响（英文）

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资源类别： 综合论文
关键词： 缓冲   直流   薄膜   英文   反应
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GaN缓冲层对直流反应磁控溅射AlN薄膜的影响（英文）
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