NH_3等离子体后处理Co掺杂ZnO的薄膜结构及磁学性能

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资源类别： 综合论文
关键词： 掺杂   薄膜   性能   磁学   等离子体
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NH_3等离子体后处理Co掺杂ZnO的薄膜结构及磁学性能
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