Ta2O5绝缘层厚度对ZnO基薄膜晶体管器件性能的影响

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资源类别: 综合论文
关键词: 绝缘   器件   厚度   性能   薄膜晶体管
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Ta2O5绝缘层厚度对ZnO基薄膜晶体管器件性能的影响
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