利用In0.82Ga0.18As与InP衬底之间的应力制作结构材料的缓冲层

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资源类别：综合论文

关键词：缓冲应力制作衬底结构

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利用In0.82Ga0.18As与InP衬底之间的应力制作结构材料的缓冲层

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