国产SiC衬底上利用AlN缓冲层生长高质量GaN外延薄膜

文件格式: PDF文档
文件大小: 390.41 KB
资源类别: 综合论文
关键词: 缓冲   薄膜   国产   生长   衬底
进入标准下载页面
本资源下载需 1

论文简介

国产SiC衬底上利用AlN缓冲层生长高质量GaN外延薄膜
相关推荐