柔性衬底上ALD法低温制备的ZnO薄膜的光学和电学特性

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资源类别: 综合论文
关键词: 制备   薄膜   低温   特性   衬底
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柔性衬底上ALD法低温制备的ZnO薄膜的光学和电学特性
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