溅射的Ti薄膜热氧化形成的TiO_2薄膜与p-＋-Si形成的异质结的电致发光

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资源类别： 综合论文
关键词： 薄膜   氧化   形成   溅射   Ti
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溅射的Ti薄膜热氧化形成的TiO_2薄膜与p-＋-Si形成的异质结的电致发光
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